普达特科技(00650)：向客户发出OCTOPUS平台半导体湿法清洗设备

(资料图)

智通财经APP讯，普达特科技(00650)发布公告，于2023年8月10日,公司向客户发出OCTOPUS平台半导体湿法清洗设备。该等设备订单的收入暂未确认。据董事经作出一切合理查询后所深知、尽悉及确信，于本公告日期，该等客户及其最终实益拥有人为独立于公司及其关连人士的第三方。

OCTOPUS湿法处理平台配置16个腔体，适用于有大规模量产需求以及追求最大化的单位时间晶圆产出的客户。OCTOPUS平台设备的腔体和化学药液供应系统采用同垂直面阵列布局，在提供高产能的同时也能保证最佳的化学药液回收效率，从而也能为客户降低化学品消耗成本。

OCTOPUS平台提供多种晶圆Chuck配置方案，满足客户晶圆单面清洗、双面清洗、边缘清洗和刻蚀等定制化需求。OCTOPUS平台既可以在单一应用上靠多腔体提升产能，也可以在同平台上分组为不同应用配置以满足研发的各种需求。

该等产品为单片晶圆清洗设备，其设计用于硅晶圆清洗，以去除任何黏附颗粒及有机╱无机杂质。

关键词：